Leybold带风冷密封封闭式电机的罗茨鼓风机

1、Leybold带风冷密封封闭式电机的罗茨鼓风机RUVAC WS 

RUVAC WS 罗茨鼓风机由风冷或水冷封闭式电机驱动。可用的变频器已与泵匹配，因此排除了机械过载的可能性。在压差过高的情况下，泵的转速会自动降低，直到其负载。RUVAC WSU系列罗茨真空泵配有额外的集成压力均衡管路和压差阀。这些系列的泵标配垂直泵送动作。

2、Leybold带风冷密封封闭式电机的罗茨鼓风机RUVAC WS 结构

两条风冷管路 WS/WSU，每条管路有四种泵尺寸

由风冷封闭式电机驱动的高度密封风冷泵

用矿物油润滑（或者用LVO 400润滑）

电机定子线圈中的过温开关

所有弹性体密封件均由 FPM （FKM）/氟橡胶制成

带压差阀的集成压力均衡管路可防止 WSU 型号过载（可选）

变频器可用于在 251 至 2001 Hz 之间操作 RUVAC WS 20 至 100 泵

无轴通向大气，因此特别密封

从垂直泵送到水平泵送动作的转换可以从客户的角度完成

3、提供设备

所需数量的油与泵单独供应（例外情况除外）

如果没有说明其他类型的油，则使用矿物油LVO 100作为标准配置

用氮气吹扫，防腐蚀

进气法兰中的垫圈，带集成式防尘筛

WAU/WSU/WHU 系列罗茨真空泵配有额外的集成压力均衡管路和压差阀。

4、应用

适用于需要在 10-2 和 10-4 mbar（0.75 x 10-2 和 0.75 x 10-4 Torr）压力下实现高抽速的应用

用于必须避免因空气进入或泵送介质泄漏而可能造成污染的地方

吸入或泵送高纯度气体

用于洁净室，空气不得通过电机风扇再循环

RUVAC罗茨鼓风机是建筑玻璃镀膜行业的标准设备。结合成熟的油封SOGEVAC泵，它们在负载锁腔室实现了最短的抽气时间。结合干式压缩 DRYVAC 和螺杆泵，它们可确保工艺腔室的干燥、可靠真空。

RUVAC罗茨鼓风机用于许多应用中，以实现尽可能短的循环时间，例如在需要快速抽真空的地方，例如，在支撑负载锁定室或高速食品包装中。

RUVAC罗茨鼓风机在气相沉积过程之前抽真空灯和绝缘表面时，可快速达到低于10-3毫巴的压力。

RUVAC鼓风机还用于制造硅单晶的单晶拉拔设备，硅单晶是制造半导体和太阳能电池的基本材料。我们很乐意为您提供广泛的产品和应用支持以及专业知识。