PI聚焦扫描仪P-725.xCDE2

P-725.xCDE2 用于显微镜物镜的PIFOC聚焦扫描仪®

动态扫描，行程范围为 100 μm、400 μm 或 800 μm

PI聚焦扫描仪P-725.xCDE2特点

行程范围 100 μm、400 μm 或 800 μm

响应速度明显快，使用寿命明显优于电动驱动器

亚纳米分辨率镜头的精细定位

使用电容式传感器进行直接位置测量：最高线性度

与变形成像软件兼容

Ø 29 mm 的大自由光圈

PI聚焦扫描仪P-725.xCDE2应用

超分辨率显微镜

光片显微镜

共聚焦显微镜

2光子显微镜

3D 成像

筛分

干涉

测量

自动对焦系统

生物工艺学

半导体检测

PI PICMA 压电陶瓷促动器具有出色的使用寿命

PICMA压电陶瓷促动器是陶瓷绝缘的。这可以保护它们免受由于泄漏电流增加而导致的潮湿和故障的影响。PICMA促动器的使用寿命是传统聚合物绝缘致动器的十倍。已经证明了 100 亿次循环，没有一次故障。

带电容式传感器的亚纳米分辨率

电容式传感器以亚纳米分辨率进行非接触式测量。它们保证了出色的运动线性度、高长期稳定性和 kHz 范围内的带宽。

通过无间隙固态接头导向装置实现高导向精度

固态接头导轨免维护、无摩擦、无磨损，不需要润滑剂。它们的刚性使其具有很高的弹性，对冲击载荷和振动不敏感。它们在很宽的温度范围内工作。

PI P-725.1CDE2技术参数

活动轴 Z

在Z中旅行 100 µm

Z 轴行程范围，不受管制 120 µm

Z 轴线性偏差  0,01 %

偏航 (在Z轴中移动时以 @x 为单位的旋转串扰) ± 10 µrad

倾斜 (在 Z 轴中移动时以 eY 为单位的旋转串扰) ± 10 µrad

Z 轴上的最小步长  1 nm

点重复性，10% 增量，1 西格玛 10 nm

内置传感器  电容式直接位置测量

传感器噪声，1 西格玛 0,2 nm

Z轴位置噪声 0,1 nm

Z 轴中 10% 步进的建立时间 14 ms