COMET射频发生器citoPlus 136-ACNA-N25A-FP

COMET射频发生器citoPlus 136-ACNA-N25A-FP 

专为在动态负载下实现最高稳定性而设计。

cito Plus 提供脉冲质量、稳定性和功率测量精度，使其成为等离子体沉积和蚀刻应用以及非半导体应用的选择。

正常运行时间长 - 专注于吞吐量和降低运营成本

精度、可重复性和稳定性的价值 - 满足您的工艺要求

更高的电源效率 - 更好的经济性和环保型

cito Plus系列特征

对称开环响应

高精度功率控制

脉冲高达 100 kHz；

具有可变相位延迟的 CEX

CEX 输出分频器

符合 SEMI 标准

cito Plus系列好处

可预测的等离子体行为

轻松的系统集成

可重复的晶圆结果

在任何电缆长度下都能保持稳定

在任何负载下均具有出色的脉冲形状

与大多数生产设备兼容

citoPlus 136-ACNA-N25A-FP 技术参数

订货号 64001035 

系列cito Plus 

频率13.56 MHz

射频功率600 瓦

脉冲是的

前面板积极

现场总线没有

模拟接口25 针

匹配网络接口AGS 系列

交流输入187 至 265 VAC 

冷却空气

射频输出连接器N 型

COMET射频发生器citoPlus 136-ACNA-N25A-FP